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ITO粉末
ITO靶材
ITO靶材(使用后)
表1:
使用該ITO靶材鍍膜后,ITO導電膜的性能參數
項目
規格
導電性能
約180μΩ·cm(滿足產品生產要求)
透光率
>87%(滿足產品生產要求)
耐熱實驗
合格
泡堿實驗
合格
耐堿實驗
合格
蝕刻性能
合格
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ITO靶材
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